ОСОБЕННОСТИ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ С РАЗВИТОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ
Аннотация
Представлены результаты исследования структуры пленки пористого кремния, сформированной методом электрохимического травления на поверхности текстурированной кремниевой монокристаллической подложки. Установлено, что обработка пленки пористого кремния в водном растворе HF способствует формированию развитой поверхности. Исследуемая пленка состоит из слоев, различающихся размерами кремниевых кристаллитов и химическим составом.
Список литературы
1. Salcedo W.J., Fernandez F.R., Rubimc J.C. Influence of laser excitation on Raman and photoluminescence spectra and FTIR study of porous silicon layers // Brazilian Journal of Physics.
2. Венгер Е.Ф., Горбач Т.Я., Кириллова С.И., Примаченко В.E., Чернобай В.А. Изменение свойств системы пористый Si/ Si при постепенном стравливании слоя пористого Si // ФТП. 2002. Т. 36. Вып. 3. С. 349-354.
3. Химические свойства неорганических веществ / P.A. Лидин и др.; М.: КолосС, 2006. 480 с. 739-744. 1999. Vol. 29. No. 4. P. 751-755.
4. Yang М., Huang D., Hao P. Study of the Raman peak shift and the linewidth of light-emitting porous silicon // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. No.l. P. 651-653.
5. Тутов E.A., Бормонтов E.H., Кашкаров В.М., Павленко М.H., Домашевская Э.П. Влияние адсорбции паров воды на вольт-фарадные характеристики гетероструктур с пористым кремнием // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып. 11. С. 83-89.
6. Горячев Д.H., Беляков Л.В., Сресели О.М. Формирование толстых слоев пористого кремния при недостаточной концентрации неосновных носителей // ФТП. 2004. Т. 38. Вып. 6. С. ISSN 2072-8387 ] Вестник МГОУ. Серия: Физика-Математика f 2015 / № 1
Рецензия
Просмотров:
51
Послать статью по эл. почте 