Preview

Вестник Государственного университета просвещения. Серия: Физика-Математика

Расширенный поиск

ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УГЛЕРОДНЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЁННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ

https://doi.org/10.18384/2310-7251-2020-3-53-64

Аннотация

Цель исследования - определение толщин и оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий, нанесённых методом импульсного лазерного осаждения, для выработки рекомендаций по технологическим режимам нанесения данных покрытий на медные и алюминиевые зеркала. Процедура и методы. Для определения толщин и оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий применяется метод ИК-спектроскопической эллипсометрии. Результаты. Определены толщины и оптические константы углеродных алмазоподобных покрытий, нанесённых на образцы медных и алюминиевых зеркал методом импульсного лазерного осаждения. Теоретическая и практическая значимость. Определены оптимальные с точки зрения оптических характеристик технологические режимы нанесения алмазоподобных покрытий методом импульсного лазерного осаждения на медные и алюминиевые подложки.

Об авторах

Д. В. Николаева
Российский университет дружбы народов
Россия


Д. В. Генералов
Российский университет дружбы народов
Россия


Б. А. Паршин
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Россия


М. О. Макеев
Российский университет дружбы народов; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Россия


Список литературы

1. Robertson J. Diamond-like amorphous carbon // Materials science and engineering: R: Reports. 2002. Vol. 37. Iss. 4-6. P. 129-281. DOI: 10.1016/S0927-796X(02)00005-0.

2. Bewilogua K., Hofmann D. History of diamond-like carbon films - from first experiments to worldwide applications // Surface and Coatings Technology. 2014. Vol. 242. P. 214-225. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2014.01.031.

3. Grill A. Diamond-like carbon coatings as biocompatible materials - an overview // Diamond and related materials. 2003. Vol. 12. Iss. 2. P. 166-170. DOI: 10.1016/S0925-9635(03)00018-9.

4. Hauert R. DLC films in biomedical applications // Tribology of Diamond-Like Carbon Films. Boston, MA: Springer, 2008. P. 494-509. DOI: 10.1007/978-0-387-49891-1_20.

5. Protective diamond-like carbon coatings for future optical storage disks / Piazza F., Grambole D., Schneider D., Casiraghi C., Ferrari A. C., Robertson J. // Diamond and Related Materials. 2005. Vol. 14. Iss. 3-7. P. 994-999. DOI: 10.1016/j.diamond.2004.12.028.

6. Diamond-like carbon protective anti-reflection coating for Si solar cell / Choi W. S., Kim K., Yi J., Hong B. // Materials Letters. 2008. Vol. 62. Iss. 4-5. P. 577-580. DOI: 10.1016/j.matlet.2007.06.019.

7. Упрочнение зеркальной поверхности за счет нанесения углеродной наноструктуры / Батшев В. И., Козлов А. Б., Мачихин А. С., Макеев М. О., Осипков А. С., Булатов М. Ф., Кинжагулов И. Ю., Степанова К. А. // Оптика и спектроскопия. 2019. Т. 127. № 10. С. 581-585. DOI: 10.21883/OS.2019.10.48361.174-19.

8. Progress in Spectroscopic Ellipsometry: Applications from Vacuum Ultraviolet to Infrared / Hilfiker J. N., Bungay C. L., Synowicki R. A., Tiwald T. E., Herzinger C. M., Johs B., Pribil G. K., Woollam J. A. // Journal of Vacuum Science & Technology A. 2003. Vol. 21. Iss. 4. P. 1103-1108. DOI: 10.1116/1.1569928.

9. Survey of methods to characterize thin absorbing films with Spectroscopic Ellipsometry / Hilfiker J. N., Singh N., Tiwald T., Convey D., Smith S. M., Baker J. H., Tompkins H. G. // Thin Solid Films. 2008. Vol. 516. Iss. 22. P. 7979-7989. DOI: 10.1016/j.tsf.2008.04.060.

10. Use of Molecular Vibrations to Analyze Very Thin Films with Infrared Ellipsometry / Tompkins H. G., Tiwald T., Bungay C., Hooper A. E. // The Journal of Physical Chemistry B. 2004. Vol. 108. Iss. 12. P. 3777-3780. DOI: 10.1021/jp035731a.

11. Liu P., Zhang Y., Martin S. T. Complex Refractive Indices of Thin Films of Secondary Organic Materials by Spectroscopic Ellipsometry from 220 to 1200 nm // Environmental Science & Technology. 2013. Vol. 47. Iss. 23. P. 13594-13601. DOI: 10.1021/es403411e.

12. Infrared optical properties of amorphous and nanocrystalline Ta2O5 thin films / Bright T. J., Watjen J. I., Zhang Z. M., Muratore C., Voevodin A. A., Koukis D. I., Tanner D. B., Arenas D. J. // Journal of Applied Physics. 2013. Vol. 114. Iss. 8. P. 083515. DOI: 10.1063/1.4819325.

13. Макеев М. О., Жукова Е. А. Исследование алмазоподобных покрытий методами ИК-спектральной эллипсометрии и спектроскопии комбинационного рассеяния света // Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н. Э. Баумана. 2013. № 07. С. 229-240. DOI: 10.7463/0713.0597996.

14. Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии // Вестник Московского государственного технического университета им. Н. Э. Баумана. Серия: Приборостроение. 2015. № 6 (105). С. 125-134. DOI: 10.18698/0236-3933-2015-6-125-134.

15. Ремез Л. М., Шупенев А. Е., Куликов И. В. Анализ влияния технологических параметров процесса импульсного лазерного осаждения на физико-морфологические свойства тонких пленок // Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии: материалы Всероссийской научно-технической конференции (7-10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана) [Электронный ресурс]. URL: studvesna.ru?go=articles&id=1196 (дата обращения: 22.06.2020).

16. Handbook of ellipsometry / ed. by H. G. Tompkins, E. A. Irene. Norwich, NY: William Andrew Publishing, Springer, 2005. 870 p.

17. Рывкина Н. Г. Эллипсометрия в нанотехнологиях // Мир измерений. 2009. № 10. С. 19-25.

18. IR-VASE User’s Manual. USA: J. A. Woollam Co. Inc., 2006. 670 p.

19. Wooten F. Optical Properties of Solids. New York: Academic Press, 1972. 270 p.


Рецензия

Просмотров: 73


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2949-5083 (Print)
ISSN 2949-5067 (Online)