НЕКОТОРЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ ФИЗИЧЕСКОЙ И ХИМИЧЕСКОЙ РЕГЕНЕРАЦИИ ОТХОДОВ ПРОИЗВОДСТВ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ВЫСОКОЧИСТЫЙ КРЕМНИЙ
Аннотация
образующихся при переработке (резке и шлифовке) поликристаллического или монокристаллического кремния с использованием карбида кремния, минерального
масла и полиэтиленгликоля. Показана возможность выделения и возвращения в
технологические циклы значительной части отходов, что позволяет снизить экологическую нагрузку при производстве электронных компонентов и фотоэлектрических преобразователей (ФЭП).
Об авторах
Е. Е. ГринбергРоссия
Ю. И. Левин
Россия
В. Б. Жаданов
Россия
Р. А. Санду
Россия
В. В. Беляев
Россия
М. В. Рябцева
Россия
А. В. Наумов
Россия
И. Е. Стрельникова
Россия
Список литературы
1. Гринберг, Е.Е., Наумов А.В., Супоненко А.Н.[Текст] // Вестник МАСИ, М., 2006, Т.9, ч.1, с. 50-54.
2. Беляев, В.В. Новые дисплейные технологии и их применения [Текст]. // Электрон- ные компоненты, №3, с.26-27 (2003).
3. Беляев, В.В., Коваленко В.И. Рынок жидкокристаллических дисплеев [Текст]. // Электронные компоненты, №3, с.59-63 (2003).
4. SiC-proceeding, Hirschau, Germany, инф. материал, 2005.
5. Наумов, А.В., Гринберг Е.Е., Быков И.С., Беляев В.В. [Текст]. // Вестник МГОУ, Фи- зика, 2010, В.1, с.57-63.
6. Баранов, К.В., Жаданов В.Б., Сырычко В.В. и др. [Текст] // Химическая промыш- ленность сегодня, М., №5, 2007, С.17-21.
7. Жаданов, В.Б., Жаданов Б.В., Гринберг Е.Е. [Текст] // Успехи в химии и химиче- ской технологии, М., Т.Х1Х, 2005, №3(51), с.33-37.
8. Воловодов, А.И. Разработка технологии очистки от тяжелых металлов загрязненных территорий и ливневых стоков промышленных предприятий. [Текст] Автореф. дисс. канд. техн. наук. М.: - 2006.
9. Lewis, T.J. [Text] // Mat.Res.Bull., Vol.4, pp. S 321 - S 330, 1969, Pergamon Press, Inc., USA.
10. Сенник, Б.Н., Гринберг Е.Е., Жаданов В.Б. и др. [Текст] // Успехи в химии и хими- ческой технологии, М., Т.ХХ, 2006, №3(61), с.94 -98.