Изучено влияние состава потока реагентов на условия формирования и структуру слоёв на основе ZnO. Показано, что ключевым резервом в увеличении электропроводности и подвижности носителей заряда прозрачных электродов на основе ZnO:Ga является повышение структурного совершенства слоёв. Анализ полученных результатов исследований показывает, что увеличение парциального давления паров металла в газовой фазе влечёт за собой соответствующее увеличение подвижности компонентов и увеличение кристаллического совершенства синтезируемых поликристаллических слоёв.
The influence of the composition of the reagent flow on the formation conditions and the structure of ZnO-based layers is studied. It is shown that a key reserve in increasing the electrical conductivity and mobility of charge carriers of Ga-doped ZnO transparent electrodes is to increase the structural perfection of the layers. Analysis of the obtained results shows that an increase in the partial pressure of metal vapors in the gas phase entails a corresponding increase in the mobility of the components and an increase in the crystalline perfection of the synthesized polycrystalline layers.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.